プラズマブラスター
プラズマ技術は、微細な溝を掘るなど、半導体を製品化する際に使われる。新たなシステムでは、センサーを製造装置に置き、実際に加工するのと同様のプラズマ状態にした上で、逆援助の状態や紫外線の照射量などを測定。予測される溝の形や傷などの解析結果を画像化し、設定変更などの検討材料にする。
半導体製造では、設計通りに加工するため、プラズマの状態を測定し、圧力や電子密度などの条件を制御することが不可欠となる。従来の測定方法は大きな専用装置が必要だったり、プラズマが乱れて実際の工程と違いが出たりする問題もあったという。
システムは半導体メーカーや製造装置メーカーでの利用が期待できる。今後は、みずほ情報総研が企業から解析業務を受託してビジネスを展開する予定で、OKIセミコンダクタ宮城がセンサーの生産を担う。
半導体製造では、設計通りに加工するため、プラズマの状態を測定し、圧力や電子密度などの条件を制御することが不可欠となる。従来の測定方法は大きな専用装置が必要だったり、プラズマが乱れて実際の工程と違いが出たりする問題もあったという。
システムは半導体メーカーや製造装置メーカーでの利用が期待できる。今後は、みずほ情報総研が企業から解析業務を受託してビジネスを展開する予定で、OKIセミコンダクタ宮城がセンサーの生産を担う。



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